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传感器原理

点击次数:563更新时间:2023-04-26

 气体传感器采用先进的MEMS工艺加工技术,如图1所示,是一个经电、热隔离的带1mm2薄膜的硅片。薄膜上集成有2个电阻,用来进行薄膜预热和温度测量。电阻以及引线都经过钝化处理以免受到气体的腐蚀。整个薄膜都被其上层的带方形槽的硅片所覆盖,该方形槽为热导感测区域。

 当具有一定热导率的气体包围整个薄膜时,薄膜将吸收气体的热能并且升高温度到Tm。要测量这个温度的变化量,必须提供一个稳定的电路以使薄膜温度的变化量在一定时间内保持恒定。通常,传感器提供2个以上的电阻来测量和补偿因环境温度的变化而产生的影响,见图2

 传感器检测到的微弱信号由测量电桥输出,再送入仪表放大器进行差分放大,经数模转换后在触摸屏上显示数据。

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